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羅茨泵的工作原理

　　羅茨真空泵（簡稱羅茨泵）泵腔內(nèi)，有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與真空泵殼內(nèi)壁之間，保持有一家的間隙，可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。由于羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與真空泵殼之間的空間內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后的VO空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。

　　但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，VO空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間VO中去，使氣體壓強突然增高。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出真空泵外。